Tài liệu Chương IV: Cảm biến đo vị trí và dịch chuyển pdf


- 71 -
Chơng IV
Cảm biến đo vị trí và dịch chuyển
4.1. Nguyên lý đo vị trí và dịch chuyển
Việc xác định vị trí và dịch chuyển đóng vai trò rất quan trọng trong kỹ thuật.
Hiện nay có hai phơng pháp cơ bản để xác định vị trí và dịch chuyển.
Trong phơng pháp thứ nhất, bộ cảm biến cung cấp tín hiệu là hàm phụ thuộc
vào vị trí của một trong các phần tử của cảm biến, đồng thời phần tử này có liên
quan đến vật cần xác định dịch chuyển.
Trong phơng pháp thứ hai, ứng với một dịch chuyển cơ bản, cảm biến phát ra
một xung. Việc xác định vị trí và dịch chuyển đợc tiến hành bằng cách đếm số
xung phát ra.
Một số cảm biến không đòi hỏi liên kết cơ học giữa cảm biến và vật cần đo vị
trí hoặc dịch chuyển. Mối liên hệ giữa vật dịch chuyển và cảm biến đợc thực hiện
thông qua vai trò trung gian của điện trờng, từ trờng hoặc điện từ trờng, ánh
sáng.
Trong chơng này trình bày các loại cảm biến thông dụng dùng để xác định vị
trí và dịch chuyển của vật nh điện thế kế điện trở, cảm biến điện cảm, cảm biến
điện dung, cảm biến quang, cảm biến dùng sóng đàn hồi.
4.2. Điện thế kế điện trở
Loại cảm biến này có cấu tạo đơn giản, tín hiệu đo lớn và không đòi hỏi mạch
điện đặc biệt để xử lý tín hiệu. Tuy nhiên với các điện thế kế điện trở có con chạy cơ
học có sự cọ xát gây ồn và mòn, số lần sử dụng thấp và chịu ảnh hởng lớn của môi
trờng khi có bụi và ẩm.
4.2.1. Điện thế kế dùng con chạy cơ học
a) Cấu tạo và nguyên lý làm việc
Cảm biến gồm một điện trở cố định R
n
, trên đó có một tiếp xúc điện có thể di
chuyển đợc gọi là con chạy. Con chạy đợc liên kết cơ học với vật chuyển động
cần khảo sát. Giá trị của điện trở R
x
giữa con chạy và một đầu của điện trở R
n

hàm phụ thuộc vào vị trí con chạy, cũng chính là vị trí của vật chuyển động.
-
Đối với điện thế kế chuyển động thẳng (hình 4.1a):
nx
R
L
l
R =

(4.1)

- 72 -
-
Trờng hợp điện thế kế dịch chuyển tròn hoặc xoắn:


n
M
x
RR


=

(4.2)

Trong đó
M
< 360
o
khi dịch chuyển tròn (hình 4.1b) và
M
> 360
o
khi dịch chuyển
xoắn. (hình 4.1c)













Các điện trở đợc chế tạo có dạng cuộn dây hoặc băng dẫn.
Các điện trở dạng cuộn dây thờng đợc chế tạo từ các hợp kim Ni - Cr, Ni -
Cu , Ni - Cr - Fe, Ag - Pd quấn thành vòng xoắn dạng lò xo trên lõi cách điện (bằng
thuỷ tinh, gốm hoặc nhựa), giữa các vòng dây cách điện bằng emay hoặc lớp oxyt bề
mặt.
Các điện trở dạng băng dẫn đợc chế tạo bằng chất dẻo trộn bột dẫn điện là
cacbon hoặc kim loại cỡ hạt ~10
-2
àm.
Các điện trở đợc chế tạo với các giá trị R
n
nằm trong khoảng 1k

đến 100k

,
đôi khi đạt tới M
.
Các con chạy phải đảm bảo tiếp xúc điện tốt, điện trở tiếp xúc phải nhỏ và ổn
định.
b) Các đặc trng
- Khoảng chạy có ích của con chạy:
R
n,
, L
R
x
, l
R


R
n

R
n
R

Hình 4.1 Các dạng điện thế kế
1) Điện trở 2) Con chạy
a)
b)
c)
12
1
1
2
1
2

- 73 -
Thông thờng ở đầu hoặc cuối đờng chạy của con chạy tỉ số R
x
/R
n
không ổn
định. Khoảng chạy có ích là khoảng thay đổi của x mà trong khoảng đó R
x
là hàm
tuyến tính của dịch chuyển.










- Năng suất phân giải:
Đối với điện trở dây cuốn, độ phân giải xác định bởi lợng dịch chuyển cực đại
cần thiết để đa con chạy từ vị trí tiếp xúc hiện tại sang vị trí tiếp xúc lân cận tiếp
theo. Giả sử cuộn dây có n vòng dây, có thể phân biệt 2n-2 vị trí khác nhau về điện
của con chạy:
+ n vị trí tiếp xúc với một vòng dây.
+ n - 2 vị trí tiếp xúc với hai vòng dây.
Độ phân giải của điện trở dạng dây phụ thuộc vào hình dạng và đờng kính
của dây điện trở và vào khoảng ~10
àm.
Độ phân giải của các điện trở kiểu băng dẫn phụ thuộc vào kích thớc hạt,
thờng vào cỡ ~ 0,1
àm.
- Thời gian sống:
Thời gian sống của điện kế là số lần sử dụng của điện thế kế. Nguyên nhân gây
ra h hỏng và hạn chế thời gian sống của điện thế kế là sự mài mòn con chạy và dây
điện trở trong quá trình làm việc. Thờng thời gian sống của điện thế kế dạng dây
dẫn vào cỡ 10
6
lần, điện kế dạng băng dẫn vào cỡ 5.10
7
- 10
8
lần.
4.2.2. Điện thế kế không dùng con chạy cơ học
Để khắc phục nhợc điểm của điện thế kế dùng con chạy cơ học, ngời ta sử
dụng điện thế kế liên kết quang hoặc từ.
Khoản
g
chạ
y
có ích
Cuối đờn
g
chạ
y

Đầu đờn
g
chạ
y

x
Hình 4.2 Sự phụ thuộc của điện trở
điện thế kế vào vị trí con chạy
R
x

Hình 4.3 Độ phân giải của điện thế
kế dạng dây

- 74 -
a) Điện thế kế dùng con trỏ quang
Hình 4.4 trình bày sơ đồ nguyên lý của một điện thế kế dùng con trỏ quang.
Điện thế kế tròn dùng con trỏ quang gồm điot phát quang (1), băng đo (2),
băng tiếp xúc (3) và băng quang dẫn (4). Băng điện trở đo đợc phân cách với băng
tiếp xúc bởi một băng quang dẫn rất mảnh làm bằng CdSe trên đó có con trỏ quang
dịch chuyển khi trục của điện thế kế quay. Điện trở của vùng quang dẫn giảm đáng
kể trong vùng đợc chiếu sáng tạo nên sự liên kết giữa băng đo và băng tiếp xúc.















Thời gian hồi đáp của vật liệu quang dẫn cỡ vài chục ms.
b) Điện thế kế dùng con trỏ từ
Hình 4.5 trình bày sơ đồ nguyên lý một điện thế kế từ gồm hai từ điện trở R
1

R
2
mắc nối tiếp và một nam châm vĩnh cữu (gắn với trục quay của điện thế kế) bao
phủ lên một phần của điện trở R
1
và R
2
, vị trí phần bị bao phủ phụ thuộc góc quay
của trục.
Điện áp nguồn E
S
đợc đặt giữa hai điểm (1) và (3), điện áp đo V
m
lấy từ điểm
chung (2) và một trong hai đầu (1) hoặc (3).
Khi đó điện áp đo đợc xác định bởi công thức:
S
1
S
21
1
m
E
R
R
E
RR
R
V =
+
=
(4.3)
Hình 4.4 Điện thế kế quay dùng con trỏ quang
1) Điot phát quang 2) Băng đo 3) Băng tiếp xúc 4) Băng quang dẫn
Điện tr


Thời gian
1
2
3
4
~20 ms

- 75 -
Trong đó R
1
là hàm phụ thuộc vị trí của trục quay, vị trí này xác định phần của R
1

chịu ảnh hởng của từ trờng còn R = R
1
+ R
2
= const.











Từ hình 4.5b ta nhận thấy điện áp đo chỉ tuyến tính trong một khoảng ~90
o
đối
với điện kế quay. Đối với điện kế dịch chuyển thẳng khoảng tuyến tính chỉ cỡ vài
mm.
4.3. Cảm biến điện cảm
Cảm biến điện cảm là nhóm các cảm biến làm việc dựa trên nguyên lý cảm
ứng điện từ. Vật cần đo vị trí hoặc dịch chuyển đợc gắn vào một phần tử của mạch
từ gây nên sự biến thiên từ thông qua cuộn đo. Cảm biến điện cảm đợc chia ra:
cảm biến tự cảm và hỗ cảm.
4.3.1. Cảm biến tự cảm
a) Cảm biến tự cảm có khe từ biến thiên
- Cảm biến tự cảm đơn: trên hình 4.6 trình bày sơ đồ nguyên lý cấu tạo của
một số loại cảm biến tự cảm đơn.








Hình 4.6 Cảm biến tự cảm
1) Lõi sắt từ 2) Cuộn dây 3) Phần động
X
V
X
V

a) b) c)
1
2
3
1
2
3
1
2
R

R
2
R
1

1
2
3
Hình 4.5 Điện thế kế điện từ
30%
50%
70%
0
O
180
O
360
O

V
m
/
E
S
a)
b)

- 76 -
Cảm biến tự cảm đơn gồm một cuộn dây quấn trên lõi thép cố định (phần tĩnh)
và một lõi thép có thể di động dới tác động của đại lợng đo (phần động), giữa
phần tĩnh và phần động có khe hở không khí tạo nên một mạch từ hở.
Sơ đồ hình 4.6a: dới tác động của đại lợng đo X
V
, phần ứng của cảm biến di
chuyển, khe hở không khí

trong mạch từ thay đổi, làm cho từ trở của mạch từ biến
thiên, do đó hệ số tự cảm và tổng trở của cuộn dây thay đổi theo.
Sơ đồ hình 4.6b: khi phần ứng quay, tiết diện khe hở không khí thay đổi, làm
cho từ trở của mạch từ biến thiên, do đó hệ số tự cảm và tổng trở của cuộn dây thay
đổi theo.
Hệ số tự cảm của cuộn dây cũng có thể thay đổi do thay đổi tổn hao sinh ra
bởi dòng điện xoáy khi tấm sắt từ dịch chuyển dới tác động của đại lợng đo X
v
(hình 4.6c).
Nếu bỏ qua điện trở của cuộn dây và từ trở của lõi thép ta có:


à
==

sW
R
W
L
0
2
2

Trong đó:
W- số vòng dây.

s
R
0
à

=

- từ trở của khe hở không khí.
- chiều dài khe hở không khí.
s - tiết diện thực của khe hở không khí.
Trờng hợp W = const ta có:




+


= d
L
ds
s
L
dL
Với lợng thay đổi hữu hạn



s ta có:

()

+
à


à
=
2
0
00
2
0
0
2
sW
s
W
L
(4.4)
Độ nhạy của cảm biến tự cảm khi khe hở không khí thay đổi (s=const):

2
0
0
0
1
L
L
S
















+
=


=

(4.5)
Độ nhạy của cảm biến tự cảm khi thay đổi tiết diện không khí (

= const):

- 77 -

0
0
s
s
L
s
L
S =


= (4.6)
Tổng trở của cảm biến:


à
==
sW
LZ
0
2
(4.7)
Từ công thức (4.7) ta thấy tổng trở Z của cảm biến là hàm tuyến tính với tiết diện
khe hở không khí s và phi tuyến với chiều dài khe hở không khí

.









Đặc tính của cảm biến tự cảm đơn Z = f(

) là hàm phi tuyến và phụ thuộc tần
số nguồn kích thích, tần số nguồn kích thích càng cao thì độ nhạy của cảm biến
càng cao (hình 4.7).
- Cảm biến tự cảm kép lắp theo kiểu vi sai: Để tăng độ nhạy của cảm biến và tăng
đoạn đặc tính tuyến tính ngời ta thờng dùng cảm biến tự cảm kép mắc theo kiểu vi
sai (hình 4.8).









Đặc tính của cảm biến tự cảm kép vi sai có dạng nh hình 4.9.

X
V

X
V
X
V

a)
b)
c)
Hình 4.8 Cảm biến tự cảm kép mắc theo kiểu vi sai
L = f
(


)
Z
5000Hz
= f
(


)
Z
500Hz
= f
(


)
Hình 4.7 Sự phụ thuộc giữa L, Z với chiều dày khe hở không khí
Z, L



- 78 -









b) Cảm biến tự cảm có lõi từ di động
Cảm biến gồm một cuộn dây bên trong có lõi từ di động đợc (hình 4.10).








Dới tác động của đại lợng đo X
V
, lõi từ dịch chuyển làm cho độ dài l
f
của lõi
từ nằm trong cuộn dây thay đổi, kéo theo sự thay đổi hệ số tự cảm L của cuộn dây.
Sự phụ thuộc của L vào l
f
là hàm không tuyến tính, tuy nhiên có thể cải thiện bằng
cách ghép hai cuộn dây đồng dạng vào hai nhánh kề sát nhau của một cầu điện trở
có chung một lõi sắt.
4.3.2. Cảm biến hỗ cảm
Cấu tạo của cảm biến hỗ cảm tơng tự cảm biến tự cảm chỉ khác ở chỗ có thêm
một cuộn dây đo (hình 4.11).
Trong các cảm biến đơn khi chiều dài khe hở không khí (hình 4.11a) hoặc tiết
diện khe không khí thay đổi (hình 4.11b) hoặc tổn hao do dòng điện xoáy thay đổi
(hình 4.11c) sẽ làm cho từ thông của mạch từ biến thiên kéo theo suất điện động e
trong cuộn đo thay đổi.

- Cảm biến đơn có khe hở không khí:
L
1
= f
(

)
Hình 4.9 Đặc tính của cảm biến tự cảm kép lắp vi sai
L
1
- L
2
= f(

)
L
2
= f(

)


L
Hình 4.10 Sơ đồ nguyên lý cảm biến tự cảm có lõi từ
1) Cuộn dây 2) Lõi từ
l
0
l
f
l
X
V
1
2

- 79 -
Từ thông tức thời:

à
==

siW
R
iW
011
t

i - giá trị dòng điện tức thời trong cuộn dây kích thích W
1
.
















Sức điện động cảm ứng trong cuộn dây đo W
2
:

dt
di
.
sWW
dt
d
We
012t
2

à
=

=
W
2
- số vòng dây của cuộn dây đo.
Khi làm việc với dòng xoay chiều
tsinIi
m

=
, ta có:

tcosI
sWW
e
m
012


à
=
và giá trị hiệu dụng của suất điện động:


=

à
=
s
kI
sWW
E
012

I - giá trị hiệu dụng của dòng điện,
IWWk
012

à
=
.
Với các giá trị W
2
, W
1
,
à
0
,

và I là hằng số, ta có:




+


= d
E
ds
s
E
dE
Hình 4.11 Cảm biến hỗ cảm
1) Cuộn sơ cấp 2) Gông từ 3) lõi từ di động 4) Cuộn thứ cấp (cuộn đo)
a)
3
X
V

1
2
~
b)
1
2
3
c)
X
V
3
4
~
X
V

4
~

1


2

d)
X
V

~ ~
e)
~
X
V
~
đ)
4
4
1

- 80 -
Hay
()
2
0
0
ks
s
kE
+





=
(4.8)
Độ nhạy của cảm biến với sự thay đổi của chiều dài khe hở không khí (s = const):

2
0
0
0
2
0
2
0
1
E
1
ksE
S










+
=










+
=


=

(4.9)
Còn độ nhạy khi tiết diện khe hở không khí s thay đổi ( = const):

0
0
0
S
s
E
k
s
E
S =

=


= (4.10)
0
0
0
ks
E

=
- sức điện động hỗ cảm ban đầu trong cuộn đo W
2
khi X
V
= 0.
Ta nhận thấy công thức xác định độ nhạy của cảm biến hỗ cảm có dạng tơng
tự nh cảm biến tự cảm chỉ khác nhau ở giá trị của E
0
và L
0
. Độ nhạy của cảm biến
hỗ cảm S

và S
S
cũng tăng khi tần số nguồn cung cấp tăng.
- Cảm biến vi sai: để tăng độ nhạy và độ tuyến tính của đặc tính cảm biến ngời
ta mắc cảm biến theo sơ đồ vi sai (hình 4.11d,đ,e). Khi mắc vi sai độ nhạy của cảm
biến tăng gấp đôi và phạm vi làm việc tuyến tính mở rộng đáng kể.
- Biến thế vi sai có lõi từ: gồm bốn cuộn dây ghép đồng trục tạo thành hai cảm
biến đơn đối xứng, bên trong có lõi từ di động đợc (hình 4.12). Các cuộn thứ cấp
đợc nối ngợc với nhau sao cho suất điện động trong chúng triệt tiêu lẫn nhau.









Về nguyên tắc, khi lõi từ ở vị trí trung gian, điện áp đo V
m
ở đầu ra hai cuộn
thứ cấp bằng không. Khi lõi từ dịch chuyển, làm thay đổi mối quan hệ giữa cuộn sơ
cấp với các cuộn thứ cấp, tức là làm thay đổi hệ số hỗ cảm giữa cuộn sơ cấp với các
Hình 4.12 Cảm biến hỗ cảm vi sai
1) Cuộn sơ cấp 2) Cuộn thứ cấp 3) Lõi từ
~
~
1
2
2
3

- 81 -
cuộn thứ cấp. Khi điện trở của thiết bị đo đủ lớn, điện áp đo V
m
gần nh tuyến tính
với hiệu số các hệ số hỗ cảm của hai cuộn thứ cấp.
4.4. Cảm biến điện dung
4.4.1. Cảm biến tụ điện đơn
Các cảm biến tụ điện đơn là một tụ điện phẳng hoặc hình trụ có một bản cực
gắn cố định (bản cực tĩnh) và một bản cực di chuyển (bản cực động) liên kết với vật
cần đo. Khi bản cực động di chuyển sẽ kéo theo sự thay đổi điện dung của tụ điện.
- Đối với cảm biến hình 4.13a: dới tác động của đại lợng đo X
V
, bản cực động
di chuyển, khoảng các giữa các bản cực thay đổi, kéo theo điện dung tụ điện biến
thiên.


=
s
C
0

- hằng số điện môi của môi trờng.

0
- hằng số điện môi của chân không.
s - diện tích nằm giữa hai điện cực.
- khoảng cách giữa hai bản cực.









-
Đối với cảm biến hình 4.13b: dới tác động của đại lợng đo X
V
, bản cực động
di chuyển quay, diện tích giữa các bản cực thay đổi, kéo theo sự thay đổi của điện
dung tụ điện.



=


= .
360
rs
C
2
00

(4.11)


- góc ứng với phần hai bản cực đối diện nhau.

X
V



X
V
X
V

a)
b)
c)
Hình 4.13 Cảm biến tụ điện đơn

- 82 -
Đối với cảm biến hình 4.13c: dới tác động của đại lợng đo X
V
, bản cực động
di chuyển thẳng dọc trục, diện tích giữa các bản cực thay đổi, kéo theo sự thay đổi
của điện dung.
l.
)r/rlog(
2
C
12
0

=
(4.12)

Xét trờng hợp tụ điện phẳng, ta có:



=
s
C




+


+


= d
C
ds
s
C
d
C
dC
Đa về dạng sai phân ta có:

()

+




+

=
2
0
00
0
0
0
0
s
s
s
C

(4.13)

Khi khoảng cách giữa hai bản cực thay đổi ( = const và s=const), độ nhạy của
cảm biến:

()
2
0
00
C
s
C
S
+

=


=

(4.14)
Khi diện tích của bản cực thay đổi ( = const và = const), độ nhạy của cảm
biến:

0
0
S
C
s
C
S


=


=

(4.15)

Khi hằng số điện môi thay đổi ( s = const và = const), độ nhạy của cảm biến:

0
0
C
s
C
S

=


=


(4.16)

Nếu xét đến dung kháng:
sC
1
Z


=

=




+


+


= d
Z
ds
s
Z
d
Z
dZ
Đa về dạng sai phân:

() ()


+
+


+

=
00
2
00
0
2
00
0
s
1
s
sss
Z

Tơng tự trên ta có độ nhạy của cảm biến theo dung kháng:

- 83 -

()
2
00
0
Z
s
S
+

=


(4.17)

()
2
00
0
Zs
ss
S
+

=

(4.18)

00
Z
s
1
S

=


(4.19)

Từ các biểu thức trên có thể rút ra:
-
Biến thiên điện dung của cảm biến tụ điện là hàm tuyến tính khi diện tích bản
cực và hằng số điện môi thay đổi nhng phi tuyến khi khoảng cách giữa hai bản cực
thay đổi.
-
Biến thiên dung kháng của cảm biến tụ điện là hàm tuyến tính khi khoảng cách
giữa hai bản cực thay đổi nhng phi tuyến khi diện tích bản cực và hằng số điện môi
thay đổi.
Ngoài ra giữa hai bản cực khi có điện áp đặt vào sẽ phát sinh lực hút, lực này
cần phải nhỏ hơn đại lợng đo.
4.4.2. Cảm biến tụ kép vi sai









Tụ kép vi sai có khoảng cách giữa các bản cực biến thiên dịch chuyển thẳng
(hình 4.14a) hoặc có diện tích bản cực biến thiên dịch chuyển quay (hình 4.14b) và
dịch chuyển thẳng (hình 4.14c) gồm ba bản cực. Bản cực động A
1
dịch chuyển giữa
hai bản cực cố định A
2
và A
3
tạo thành cùng với hai bản cực này hai tụ điện có điện
dung C
21
và C
31
biến thiên ngợc chiều nhau.
Độ nhạy và độ tuyến tính của tụ kép vi sai cao hơn tụ đơn và lực tơng hỗ giữa
các bản cực triệt tiêu lẫn nhau do ngợc chiều nhau.
b)
c)
Hình 4.14 Cảm biến tụ kép vi sai


X
V

a)


X
V
X
V

A
2
A
1

A
3

A
2

A
1
A
3
A
2
A
1
A
3


- 84 -
4.4.3. Mạch đo

Thông thờng mạch đo dùng với cảm biến điện dung là các mạch cầu không
cân bằng cung cấp bằng dòng xoay chiều. Mạch đo cần thoả mãn các yêu cầu sau:
- Tổng trở đầu vào tức là tổng trở của đờng chéo cầu phải thật lớn.
- Các dây dẫn phải đợc bọc kim loại để tránh ảnh hởng của điện trờng
ngoài.
- Không đợc mắc các điện trở song song với cảm biến.
- Chống ẩm tốt.
Hình 4.15a là sơ đồ mạch cầu dùng cho cảm biến tụ kép vi sai với hai điện trở.
Cung cấp cho mạch cầu là một máy phát tần số cao.
Hình 4.15b là sơ đồ mạch mặch cầu biến áp với hai nhánh tụ điện.











4.5. Cảm biến quang
Các cảm biến đo vị trí và dịch chuyển theo phơng pháp quang học gồm nguồn
phát ánh sáng kết hợp với một đầu thu quang (thờng là tế bào quang điện).
Tuỳ theo cách bố trí đầu thu quang, nguồn phát và thớc đo (hoặc đối tợng
đo), các cảm biến đợc chia ra:
- Cảm biến quang phản xạ.
- Cảm biến quang soi thấu.
4.5.1. Cảm biến quang phản xạ
Cảm biến quang phản xạ (hình 4.16) hoạt động theo nguyên tắc dọi phản
quang: đầu thu quang đặt cùng phía với nguồn phát. Tia sáng từ nguồn phát qua thấu
kính hội tụ đập tới một thớc đo chuyển động cùng vật khảo sát, trên thớc có
những vạch chia phản quang và không phản quang kế tiếp nhau, khi tia sáng gặp
phải vạch chia phản quang sẽ bị phản xạ trở lại đầu thu quang.
~
e
S
U
ra

A
1
A
3
A
2
R
R
~
C
0
C
x
U
ra

e
S
Hình 4.15 Mạch đo thờng dùng với cảm biến tụ điện
a)
b)

- 85 -









Cảm biến loại dọi phản quang, không cần dây nối qua vùng cảm nhận nhng
cự ly cảm nhận thấp và chịu ảnh hởng của ánh sáng từ nguồn sáng khác.
4.5.2. Cảm biến quang soi thấu
Sơ đồ cấu trúc của một cảm biến đo vị trí và dịch chuyển theo nguyên tắc soi
thấu trình bày trên hình 4.17a. Cảm biến gồm một nguồn phát ánh sáng, một thấu
kính hội tụ, một lới chia kích quang và các phần tử thu quang (thờng là tế bào
quang điện).











Khi thớc đo (gắn với đối tợng khảo sát, chạy giữa thấu kính hội tụ và lới
chia) có chuyển động tơng đối so với nguồn sáng sẽ làm xuất hiện một tín hiệu ánh
sáng hình sin. Tín hiệu này đợc thu bởi các tế bào quang điện đặt sau lới chia. Các
tín hiệu đầu ra của cảm biến đợc khuếch đại trong một bộ tạo xung điện tử tạo
thành tín hiệu xung dạng chữ nhật.
1
2
3
4
5
6
Hình 4.17 a) Sơ đồ cấu tạo cảm biến quang soi thấu b) Tín hiệu ra
1) Nguồn sáng 2) Thấu kính hội tụ 3) Thớc đo
4) Lới chia 5) Tế bào quang điện 6) Mã chuẩn
Tín hiệu ra
V
r1
V
r2
Tín hiệu chuẩn
Chu k

chia
a
)
b
)

Hình 4.16 Cảm biến quang phản xạ
1) Nguồn phát 2) Thớc đo 3) Đầu thu quang
1
2
3

- 86 -
Các tế bào quang điện bố trí thành hai dãy và đặt lệch nhau một phần t độ
chia nên ta nhận đợc hai tín hiệu lệch pha 90
o
(hình 4.17b), nhờ đó không những
xác định đợc độ dịch chuyển mà còn có thể nhận biết đợc cả chiều chuyển động.
Để khôi phục điểm gốc trong trờng hợp mất điện nguồn ngời ta trang bị
thêm mốc đo chuẩn trên thớc đo.

u điểm của các cảm biến soi thấu là cự ly cảm nhận xa, có khả năng thu đợc
tín hiệu mạnh và tỉ số độ tơng phản sáng tối lớn, tuy nhiên có hạn chế là khó bố trí
và chỉnh thẳng hàng nguồn phát và đầu thu.
4.6. Cảm biến đo dịch chuyển bằng sóng đàn hồi
4.6.1. Nguyên lý đo dịch chuyển bằng sóng đàn hồi
Tốc độ truyền sóng đàn hồi v trong chất rắn ~ 10
3
m/s. Thời gian truyền sóng
giữa hai điểm trong vật rắn cách nhau một khoảng l xác định bởi biểu thức:

v
l
t
P
=
Biết tốc độ truyền sóng v và đo thời gian truyền sóng t
P
ta có thể xác định đợc
khoảng cách l cần đo:

P
vtl =

S
ơ đồ khối của một thiết bị đo dịch chuyển bằng sóng đàn hồi biểu diễn trên
hình 4.18.
Thời gian truyền sóng t
P
từ khi tín hiệu xuất hiện ở máy phát đến khi nó đợc
tiếp nhận ở máy thu đợc đo bằng máy đếm xung. Máy đếm hoạt động khi bắt đầu
phát sóng và đóng lại khi tín hiệu đến đợc máy thu.









Gọi số xung đếm đợc là N và chu kỳ của xung đếm là t
H
, ta có:

HP
Ntt =
Đồng hồ Máy đếm
Máy phá
t

Máy thu
l
Hình 4.18 Sơ đồ khối của một thiết bị đo dịch chuyển bằng sóng đàn hồi

- 87 -
Khi đó:
H
vNtl =

(4.20)

4.6.2. Cảm biến sử dụng phần tử áp điện
Trong các cảm biến áp điện, sóng đàn hồi đợc phát và thu nhờ sử dụng hiệu
ứng áp điện. Hiệu ứng áp điện là hiện tợng khi một tấm vật liệu áp điện (thí dụ
thạch anh) bị biến dạng dới tác dụng của một lực cơ học có chiều nhất định, trên
các mặt đối diện của tấm xuất hiện một lợng điện tích bằng nhau nhng trái dấu,
ngợc lại dới tác động của điện trờng có chiều thích hợp, tấm vật liệu áp điện bị
biến dạng.
Để đo dịch chuyển ta có thể sử dụng hai dạng sóng đàn hồi:
- Sóng khối: dọc và ngang.
- Sóng bề mặt.
Sóng khối dọc truyền cho các phần tử của vật rắn dịch chuyển dọc theo phơng
truyền sóng tạo nên sự nén rồi lại giãn nở của các lớp của vật rắn. Sóng này đợc
kích thích bằng phần tử áp điện rung theo bề dày (hình 4.19a).
Sóng khối ngang gây nên dịch chuyển vuông góc với phơng truyền sóng, tạo
ra chuyển động trợt tơng đối giữa các lớp của vật rắn. Sóng này đợc kích thích
bằng một phần tử áp điện rung theo mặt cắt (hình 4.19b).













Sóng bề mặt truyền trong lớp bề mặt của vật rắn, biên độ của chúng hầu nh
bằng không ở độ sâu 2

dới bề mặt. Sóng bề mặt gồm một thành phần sóng dọc và
một thành phần sóng ngang. Nguồn kích thích sóng bề mặt là một hệ điện cực kiểu
Phơn
g
tru
y
ền són
g

Phơn
g
tru
y
ền són
g
Hình 4.19 Các dạng sóng đàn hồi
a) Sóng dọc b) Sóng ngang c) Sóng bề mặt và dạng điện cực kích thích
V


V V
a)
b)
c)

- 88 -
răng lợc cài nhau phủ lên bề mặt vật liệu áp điện (hình 4.19c). Khoảng cách giữa
hai răng kề nhau của các điện cực phải bằng để có thể gây ra biến dạng khi có
điện áp V cùng pha đặt vào và để tăng hiệu ứng của chúng. Máy thu sóng bề mặt
cũng có cấu tạo tơng tự nh máy phát đợc gắn cố định vào bề mặt vật rắn, khi có
sóng bề mặt đi qua, các răng của điện cực làm biến dạng bề mặt vật rắn và gây nên
điện áp do hiệu ứng áp điện.
4.6.3. Cảm biến âm từ
Sóng đàn hồi phát ra nhờ sử dụng hiệu ứng Wiedemam: hiện tợng xoắn một
ống trụ sắt từ khi nó chịu tác dụng đồng thời của một từ trờng dọc và một từ trờng
ngang.
Sóng đàn hồi đợc thu trên cơ sở sử dụng hiệu ứng Vilari: sức căng cơ học làm
thay đổi khả năng từ hoá và độ từ thẩm của vật liệu sắt từ.
Sơ đồ nguyên lý và cấu tạo của cảm biến âm từ trình bày trên hình 4.20.
Cấu tạo của cảm biến gồm ống sắt từ (1), nam châm di động (2) trợt dọc ống
gắn với vật cần xác định vị trí. Dây dẫn (3) nằm giữa trục ống và đợc nối với máy
phát xung (4). Máy thu (5) có lõi từ nối cơ học với ống.











Nguyên lý hoạt động của cảm biến: Máy phát (4) cung cấp một xung điện
truyền qua dây dẫn (3), xung này truyền với vận tốc ánh sáng (c), từ trờng do nó
sinh ra có đờng sức là đờng tròn đồng tâm với trục ống. Khi sóng điện từ truyền
đến vị trí nam châm (2), sự kết hợp của hai từ trờng làm cho ống bị xoắn cục bộ,
xoắn cục bộ này truyền đi trong ống dới dạng sóng đàn hồi với vận tốc v. Khi sóng
đàn hồi đến máy thu (5) nó làm thay đổi độ từ hoá gây nên tín hiệu hồi đáp.
Đầu thu

y

p
hát xun
g

l
Hình 4.20 Sơ đồ nguyên lý cảm biến âm từ
1)
ống sắt từ 2) Nam châm 3) Dây dẫn 4) Máy phát xung 5) Đầu thu
1 2
3
4
5

- 89 -
Gọi t
P
là thời gian từ khi phát xung hỏi đến khi nhận đợc xung hồi đáp, do v
<< c ta có:

v
l
t
P
=
(4.21)

Trong đó l là khoảng cách từ nam châm đến đầu thu, t
P
đợc đo bằng phơng pháp
đếm xung.